tỷ lệ bóng đá hôm nayLịch sử phát triển của Ion Impanter Impheat
Đi trước thời đại, đảm nhận những thách thức mới và tạo ra tỷ lệ bóng đá hôm nay sản phẩm mới
Những thách thức liên quan đến tỷ lệ bóng đá hôm nay quá trình cấy ion khác nhau trên SI và SIC
Năm 2009, Sumitomo Electric đã tiếp cận NIC về việc phát triển Ion Impanter cho tỷ lệ bóng đá hôm nay thiết bị SIC Power. Sumitomo Electric, nắm bắt tỷ lệ bóng đá hôm nay yêu cầu của thời đại đối với EV, tập trung vào tiềm năng của SIC và có hy vọng cao rằng công nghệ cấy ion NIC tựa sẽ đóng vai trò là chất xúc tác cho việc tạo ra tỷ lệ bóng đá hôm nay thiết bị năng lượng mới. Mặc dù nhóm kỹ thuật NIC có kiến thức về tỷ lệ bóng đá hôm nay tính chất cơ bản tuyệt vời của SIC, nhưng nhiều người trong số họ đã chia sẻ quan điểm rằng cấy ghép ion là khó khăn về mặt kỹ thuật.
Một ION Implanter bao gồm một nguồn ion, tạo ra tỷ lệ bóng đá hôm nay ion của phần tử được cấy ghép; một nam châm phân tích, phân tách nhiều loại ion dựa trên sự khác biệt về khối lượng và điện tích; một ống gia tốc, tăng tốc tỷ lệ bóng đá hôm nay ion thành một năng lượng được chỉ định; và một trạm cuối, cấy tỷ lệ bóng đá hôm nay ion vào wafer. Tuy nhiên, có sự khác biệt đáng kể giữa cấy ghép ion trên SI và SIC. Trước hết, tỷ lệ bóng đá hôm nay tấm wafer là khác nhau. Trong khi tỷ lệ bóng đá hôm nay wafer SI có độ phẳng cao, tỷ lệ bóng đá hôm nay tấm sic có mức độ phẳng thấp và dễ dàng bị biến dạng bởi tỷ lệ bóng đá hôm nay tác động của cấy ghép ion và nhiệt. Ngoài ra, nhiệt độ wafer trong quá trình cấy ghép dưới 100 ° C với SI, nhưng SIC yêu cầu sưởi ấm đến khoảng 500 ° C. Hơn nữa, trong khi tỷ lệ bóng đá hôm nay loài ion được cấy ghép ở SI là boron, phốt pho và asen, ở SIC, cần phải cấy nhôm ngoài phốt pho.
Hệ thống vận chuyển có sự cấy ghép ion nhiệt độ cao
Vào thời điểm đó, những người đảm nhận những thách thức này là nhóm kỹ thuật hiện đang chịu trách nhiệm cung cấp hỗ trợ kỹ thuật cho tỷ lệ bóng đá hôm nay sản phẩm được cài đặt do NIC xử lý. Mặc dù có nhiều thách thức để khắc phục trong việc phát triển một ION Impanter đối với tỷ lệ bóng đá hôm nay thiết bị năng lượng SIC, vấn đề cấp bách nhất có liên quan đến cấy ion nhiệt độ cao, một sự khác biệt đáng chú ý so với tỷ lệ bóng đá hôm nay thiết bị ION cho tỷ lệ bóng đá hôm nay thiết bị năng lượng SI. Shiro Shiojiri, một thành viên của nhóm kỹ thuật và chịu trách nhiệm phát triển hệ thống vận chuyển wafer, đã gặp phải trở ngại chính của nhiệt độ cao.
Từ so với SI, SIC có một vấn đề duy nhất ở chỗ rất khó để sửa chữa tỷ lệ bóng đá hôm nay khiếm khuyết trong tinh thể sau khi cấy ion, vì vậy thách thức là triệt tiêu tạo ra tỷ lệ bóng đá hôm nay khiếm khuyết trong quá trình cấy ghép. cách nhiệt chúng khỏi sức nóng.
Hệ thống vận chuyển sic wafer vẫn là một trong những thách thức phát triển. Ngoài việc có thể chịu được nhiệt độ cao, việc đạt được vận chuyển ổn định cũng là một thách thức lớn. Tomoaki Kobayashi, hiện đang làm chuyên gia, cũng tham gia vào hệ thống giao thông và tỷ lệ bóng đá hôm nay biện pháp bảo vệ nhiệt độ cao.
Hồi Trong Sic Implanter đầu tiên, tỷ lệ bóng đá hôm nay tấm wafer được đặt lên người giữ bằng tay. Để vận chuyển, một mâm cặp tĩnh điện đã được sử dụng, sử dụng lực điện để thu hút và giữ cho sự nhiệt độ cao như thế nào. Để đạt được sự phân phối nhiệt độ chẵn và làm thế nào để đo nhiệt độ.
Kazuki Tobikawa chịu trách nhiệm phát triển mâm cặp tĩnh điện ở nhiệt độ cao mà Kobayashi đã đề cập và đo nhiệt độ wafer.
Một số mâm cặp tĩnh điện là một thành phần thu hút wafer. Chúng tôi thấy rằng điểm thu hút của nó đã bị mất nhanh chóng ở nhiệt độ cao. Sự giãn nở nhiệt khiến cho mâm cặp tĩnh điện bị cong vênh, tạo ra khoảng cách giữa tỷ lệ bóng đá hôm nay cơ sở. Chuck tĩnh điện để ngăn chặn sự cong vênh.
ion nhôm cần thiết cho tỷ lệ bóng đá hôm nay thiết bị SIC Power
ION Implanter cho tỷ lệ bóng đá hôm nay thiết bị SIC Power cần ion hóa nhôm, thường không được sử dụng. Ion hóa chuyển đổi khí hoặc hơi chứa vật liệu dự định thành plasma, nhưng không có khí như vậy chứa nhôm nguyên tố. Người thực hiện thử thách này là Tetsuya Igo, người hiện đang chịu trách nhiệm bán hàng kỹ thuật trong bộ phận thiết bị bán dẫn.
Vang Chúng tôi liên tục xem xét loại hợp chất nhôm nào sẽ tốt để sử dụng. Và chúng tôi đã chuyển sự chú ý của chúng tôi sang nhôm nitride. Bằng cách áp dụng huyết tương của khí có chứa flucated fluta. Xuất viện và làm cho thế hệ chùm tia không ổn định.
Do đó, đơn vị nghiên cứu đầu tiên đã được phân phối. Tuy nhiên, tỷ lệ bóng đá hôm nay vấn đề nảy sinh đến mức tỷ lệ bóng đá hôm nay thành viên trong nhóm phải đi lại với khách hàng, Sumitomo Electric, trong một năm. tỷ lệ bóng đá hôm nay vấn đề và thách thức mới được phát hiện ở đó đã dẫn đến sự phát triển của tỷ lệ bóng đá hôm nay máy sản xuất hàng loạt Impheat và Impheat-II cũng như Implanter thế hệ tiếp theo.
NEXT
Sáng tạo và tiến hóa: Tinh thần di truyền của nhân viên phát triển
- Tiếp cận với thế hệ tiếp theo với mong muốn đóng góp cho xã hội -