tỷ lệ bóng đá euro14 tháng 5 năm 2021

Vào tháng 1 năm 2021, Sumitomo Electric Industries, Ltd. đã phát triển Sumitune ™, một hệ tỷ lệ bóng đá euro kiểm soát phân phối nhiệt độ chính xác cao cho quá trình sản xuất bán dẫn trước, trong đó các mạch được hình thành trên các tấm silicon. Hệ tỷ lệ bóng đá euro này bao gồm một máy sưởi và bộ điều khiển điện. Sự phát triển của hệ tỷ lệ bóng đá euro này đã giúp cải thiện tính đồng nhất của phân phối nhiệt độ trên bề mặt trong quá trình lắng đọng wafer. Tính đồng nhất của nhiệt độ của các hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng chất bán dẫn đơn thông thường đã không đủ để thực hiện các thiết bị bán dẫn tiên tiến gần đây. Sumitune™đã tăng chất lượng lắng đọng trong khi đảm bảo xử lý lắng đọng tốc độ cao, đặc trưng của hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng phim bán dẫn đơn hơn.


Sản phẩm bán dẫn được sử dụng rộng rãi trong xã hội của chúng ta, bao gồm các thiết bị gia đình điện và cơ sở hạ tầng xã hội. Gần đây, chúng cũng đã được sử dụng cho Tiêu chuẩn truyền thông thế hệ tiếp theo 5G, Công nghệ lái tự trị Tổ chức Trí tuệ Nhân tạo (AI) và lưu trữ công suất lớn cho các trung tâm dữ liệu. Để cải thiện hiệu suất của các sản phẩm bán dẫn, các nhà sản xuất chất bán dẫn toàn cầu lớn đã cạnh tranh để phát triển các công nghệ để thu nhỏ và sắp xếp nhiều lớp của thiết bị bán dẫn. Để đáp ứng nhu cầu đối với các thiết bị tiên tiến này, cần có lò sưởi cho các phạm vi nhiệt độ khác nhau được yêu cầu để làm nóng bề mặt wafer trong quá trình tỷ lệ bóng đá euro, trong đó một màng mỏng được hình thành trên các tấm wafer.


Chủ yếu có hai loại hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng chất bán dẫn cho lắng đọng hơi hóa học nhiệt (CVD) để tạo thành một màng mỏng tinh khiết cao: hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng hàng loạt, có khả năng xử lý khoảng 25 wafer trong cùng một thời gian. đạt được năng suất cao.

Các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn tận dụng các đặc điểm của cả hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng hàng loạt và hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng đơn hơn cho các bước khác nhau. Trước đây, hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng lô có lợi thế về hiệu suất từ ​​quan điểm đồng nhất nhiệt độ. Kết quả là, hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng đơn hơn không được áp dụng phổ biến trong các bước yêu cầu độ chính xác cao.

Tuy nhiên, hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng đơn hơn, có khả năng xử lý tốc độ cao, đã thu hút sự chú ý do sự phức tạp ngày càng tăng của các quá trình bán dẫn trong những năm gần đây. Ngoài ra, đã có nhu cầu ngày càng tăng để đạt được sự lắng đọng chất lượng cao bằng cách sử dụng hệ tỷ lệ bóng đá euro lắng đọng đơn hơn. Đó là một thách thức quan trọng để cải thiện tính đồng nhất phân phối nhiệt độ trên bề mặt wafer trong quá trình xử lý lắng đọng.

Trong các lò sưởi lắng đọng đơn thông thường, các vùng được sắp xếp đồng tâm để kiểm soát nhiệt độ. Tuy nhiên, đã có những hạn chế trong việc đối phó với sự phân phối nhiệt độ nhẹ không bình thường theo hướng chu vi được quy cho các yếu tố môi trường khác nhau trong hệ tỷ lệ bóng đá euro. Để khắc phục những hạn chế này, sumitune™Hệ tỷ lệ bóng đá euro kiểm soát phân phối nhiệt độ chính xác cao đã được phát triển.

sumitune™bao gồm một lò sưởi có sáu vùng (máy sưởi sumitune) và bộ điều khiển cho phép điều khiển công suất hiệu quả và chính xác cao của sáu vùng (bộ điều khiển Sumitune). Các tính năng như sau.

● Các tính năng của Sumitune™


(1) Có khả năng đạt được các mẫu kiểm soát phân phối nhiệt độ khác nhau

Sumitune™Có thể đạt được tính đồng nhất phân phối nhiệt độ ở mức ± 0,5 ° C (ở 500 ° C) trên toàn bộ bề mặt wafer. Nó cũng có thể được sử dụng cho các quá trình tỷ lệ bóng đá euro nhạy cảm với nhiệt độ khác nhau bằng cách cho phép mô hình phân phối nhiệt độ khác nhau.

(2)đạt được điều chỉnh tốt phân phối tỷ lệ bóng đá euro bằng cách điều chỉnh công suất của các vùng tương ứng ở cấp 1 watt

Sumitune™Có thể điều chỉnh nguồn cho các vùng tương ứng ở cấp 1 watt, điều này không thể có trong các máy sưởi thông thường. Do đó, nó có thể điều chỉnh tốt sự phân phối lắng đọng không đồng nhất được quy cho các yếu tố không đối xứng của hệ tỷ lệ bóng đá euro và tấm wafer.

(3) Giảm thời gian phát triển và chi phí

Sumitune™Cho phép điều chỉnh trong các môi trường khác nhau, giúp giảm đáng kể thời gian cần thiết để phát triển và giảm số lượng đánh giá cho thử nghiệm và lỗi bằng cách sử dụng wafer. Điều này giúp khách hàng giảm chi phí phát triển.

Các tính năng trên của Sumitune™Giúp đạt được tính đồng nhất nhiệt độ cao tùy thuộc vào môi trường buồng, đạt được cả tính đồng nhất độ dày của năng suất và lắng đọng, không thể sử dụng các hệ tỷ lệ bóng đá euro xử lý nhiệt lưu trữ hàng loạt thông thường và đáp ứng sự cần thiết của việc thu nhỏ và sắp xếp đa lớp của dây điện.

Các nhà sản xuất hệ tỷ lệ bóng đá euro sản xuất bán dẫn và nhà sản xuất thiết bị bán dẫn đã bắt đầu đánh giá để bắt đầu đánh giá Sumitune™Để áp dụng quy trình sản xuất hàng loạt.

Sumitomo Electric vẫn cam kết phát triển các sản phẩm có giá trị cao bằng cách khai thác các công nghệ vật liệu và xử lý độc đáo của nó và các công nghệ mô phỏng nhiệt và đề xuất các giải pháp tối ưu có thể đóng góp cho các công nghệ bán dẫn thế hệ tiếp theo.

● Tham chiếu

• Đánh giá kỹ thuật điện Sumitomo（Tháng 4 năm 2021 số 92）