tỷ lệ bóng đá euro14 tháng 5 năm 2021
Sumitomo Electric phát triển hệ thống kiểm soát phân phối nhiệt độ có độ chính xác cao để tỷ lệ bóng đá euro màng wafer đơn
Vào tháng 1 năm 2021, Sumitomo Electric Industries, Ltd. đã phát triển SumiTune™, một hệ thống kiểm soát phân phối nhiệt độ có độ chính xác cao dành cho quy trình sản xuất chất bán dẫn đầu cuối, trong đó các mạch được hình thành trên các tấm silicon. Hệ thống này bao gồm một lò sưởi và bộ điều khiển công suất. Sự phát triển của hệ thống này đã giúp cải thiện tính đồng nhất của sự phân bổ nhiệt độ trên bề mặt trong quá trình tỷ lệ bóng đá euro wafer. Độ đồng đều nhiệt độ của các hệ thống tỷ lệ bóng đá euro chất bán dẫn wafer đơn thông thường là không đủ để hiện thực hóa các thiết bị bán dẫn tiên tiến gần đây. SumiTune™đã tăng chất lượng tỷ lệ bóng đá euro đồng thời đảm bảo xử lý tỷ lệ bóng đá euro tốc độ cao, đặc điểm của hệ thống tỷ lệ bóng đá euro màng bán dẫn đĩa đơn.
Các sản phẩm bán dẫn được sử dụng rộng rãi trong xã hội chúng ta, bao gồm các thiết bị điện gia dụng và cơ sở hạ tầng xã hội. Gần đây hơn, chúng còn được sử dụng cho tiêu chuẩn truyền thông thế hệ tiếp theo 5G, công nghệ lái xe tự động hỗ trợ trí tuệ nhân tạo (AI) và bộ lưu trữ dung lượng lớn cho các trung tâm dữ liệu. Để cải thiện hiệu suất của các sản phẩm bán dẫn, các nhà sản xuất chất bán dẫn lớn trên toàn cầu đã cạnh tranh để phát triển các công nghệ thu nhỏ và sắp xếp nhiều lớp của thiết bị bán dẫn. Để đáp ứng nhu cầu về các thiết bị tiên tiến này, cần có bộ gia nhiệt ở nhiều phạm vi nhiệt độ khác nhau để làm nóng bề mặt tấm bán dẫn trong quá trình tỷ lệ bóng đá euro, trong đó một màng mỏng được hình thành trên các tấm bán dẫn.
Chủ yếu có hai loại hệ thống tỷ lệ bóng đá euro chất bán dẫn để tỷ lệ bóng đá euro hơi hóa học nhiệt (CVD) để tạo thành màng mỏng có độ tinh khiết cao: hệ thống tỷ lệ bóng đá euro theo mẻ, có khả năng xử lý khoảng 25 đến 100 tấm bán dẫn cùng lúc và đạt được độ dày màng đồng nhất cao, và hệ thống tỷ lệ bóng đá euro một tấm bán dẫn, có khả năng xử lý từng tấm bán dẫn ở tốc độ cao và đạt năng suất cao.
Các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn tận dụng các đặc điểm của cả hệ thống tỷ lệ bóng đá euro theo mẻ và hệ thống tỷ lệ bóng đá euro tấm wafer đơn cho các bước khác nhau. Trước đây, hệ thống tỷ lệ bóng đá euro theo mẻ có lợi thế về hiệu suất xét từ quan điểm đồng nhất nhiệt độ. Kết quả là hệ thống tỷ lệ bóng đá euro tấm wafer đơn không được áp dụng phổ biến trong các bước đòi hỏi độ chính xác cao.
Tuy nhiên, hệ thống tỷ lệ bóng đá euro tấm wafer đơn có khả năng xử lý tốc độ cao đã thu hút sự chú ý do độ phức tạp ngày càng tăng của các quy trình bán dẫn trong những năm gần đây. Ngoài ra, nhu cầu đạt được sự tỷ lệ bóng đá euro chất lượng cao bằng cách sử dụng hệ thống tỷ lệ bóng đá euro một tấm wafer ngày càng tăng. Việc cải thiện tính đồng nhất phân bố nhiệt độ trên bề mặt tấm bán dẫn trong quá trình xử lý tỷ lệ bóng đá euro là một thách thức quan trọng.
Trong thiết bị gia nhiệt tỷ lệ bóng đá euro tấm wafer đơn thông thường, các vùng được bố trí đồng tâm để kiểm soát nhiệt độ. Tuy nhiên, có những hạn chế trong việc giải quyết sự phân bổ nhiệt độ không đồng đều một chút theo hướng chu vi do các yếu tố môi trường khác nhau trong hệ thống. Để khắc phục những hạn chế này, SumiTune™hệ tỷ lệ bóng đá euro kiểm soát phân phối nhiệt độ có độ chính xác cao đã được phát triển.
SumiTune™bao gồm một bộ sưởi có sáu vùng (SumiTune Heater) và một bộ điều khiển cho phép điều khiển công suất hiệu quả và chính xác cao của sáu vùng (Bộ điều khiển SumiTune). Các tính năng như sau.
● Tính năng của SumiTune™
(1) Có khả năng đạt được nhiều kiểu kiểm soát phân bổ nhiệt độ khác nhau
SumiTune™có thể đạt được độ đồng đều phân bố nhiệt độ ở mức ±0,5°C (ở 500°C) trên toàn bộ bề mặt tấm bán dẫn. Nó cũng có thể được sử dụng cho các quy trình tỷ lệ bóng đá euro nhạy cảm với nhiệt độ khác nhau bằng cách kích hoạt các kiểu phân bố nhiệt độ khác nhau.
(2)Đạt được sự điều chỉnh tốt về phân bổ tỷ lệ bóng đá euro bằng cách điều chỉnh công suất của các vùng tương ứng ở mức 1 watt
SumiTune™có thể điều chỉnh nguồn điện cho các vùng tương ứng ở mức 1 watt, điều này không thể thực hiện được ở máy sưởi thông thường. Do đó, nó có thể tinh chỉnh sự phân bố tỷ lệ bóng đá euro không đồng nhất do các yếu tố bất đối xứng của hệ thống và tấm bán dẫn.
(3) Giảm thời gian và chi phí phát triển
SumiTune™cho phép điều chỉnh trong nhiều môi trường khác nhau, giúp giảm đáng kể thời gian cần thiết cho quá trình phát triển và giảm số lượng đánh giá cho quá trình dùng thử và lỗi khi sử dụng tấm bán dẫn. Điều này giúp khách hàng giảm chi phí phát triển.
Các tính năng trên của SumiTune™giúp đạt được độ đồng đều nhiệt độ cao tùy thuộc vào môi trường buồng, đạt được độ đồng đều cả về năng suất và độ dày màng tỷ lệ bóng đá euro, điều không thể thực hiện được khi sử dụng các hệ thống xử lý nhiệt tỷ lệ bóng đá euro theo mẻ thông thường, đồng thời đáp ứng nhu cầu thu nhỏ và sắp xếp dây mạch nhiều lớp.
Nhiều nhà sản xuất hệ tỷ lệ bóng đá euro sản xuất chất bán dẫn và nhà sản xuất thiết bị bán dẫn đã bắt đầu đánh giá để bắt đầu đánh giá SumiTune™để áp dụng vào quy trình sản xuất hàng loạt.
Sumitomo Electric vẫn cam kết phát triển các sản phẩm có giá trị gia tăng cao bằng cách khai thác công nghệ xử lý và vật liệu độc đáo cũng như công nghệ mô phỏng nhiệt, đồng thời đề xuất các giải pháp tối ưu có thể đóng góp cho công nghệ bán dẫn thế hệ tiếp theo.
● Tham khảo
